该高真空蝶阀是利用电动装置驱动阀板做开启或关闭动作，达到接通或切断真空管路中气流的目的一种装置。它适用的介质为空气及非腐蚀性气体。广泛应用于真空获得设备、新能源及半导体产业。阀门漏率：≤1.3×10-5Pa.L/S。