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半导体行业对清洁度的要求
清洁度表示零部件或产品在清洗后在其表面上残留的污物的量。一般来说,污物的量包括种类、形状、尺寸、数量、重量等衡量指标;具体用何种指标取决于不同污物对产品质量的影响程度和清洁度控制精度的要求。产品是由零部件经过设备加工装配而成,所以清洁度分为零部件清洁度和产品清洁度。产品的清洁度与零部件的清洁度有直接的关系,同时还与生产工艺过程、车间环境、生产设备及人员有密切关系。因此,清洗和特别包装零部件来确保工艺保持洁净尤为重要。